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SENSIRION SFM6000D-5SLM

FLOW METER, 5LPM, 0.2%, 10BAR

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製造業者:
SENSIRION SENSIRION
メーカー 部品番号:
SFM6000D-5SLM
ご注文 コード:
4145356
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SFM6000D-5SLM   データシート
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製品概要

SFM6000D-5SLM is a digital mass flow controller. This measures gas mass flow by the calorimetric principle based on heat transfer. A heater element on a thermally insulated membrane and two thermopiles up-stream and downstream are integrated on a single silicon chip. In the presence of gas flow, the temperature distribution up and downstream is disturbed. This asymmetry is then measured. The measurement area as well as the A/D converter and further signal processing are based on a single chip using CMOS standard processes. Moreover, the same chip also takes over the function of a microprocessor in a standard mass flow controller, directly regulating the valve.
  • 5 – 0.01slm flow range
  • Disruptive concept combining plastic body and highly integrated electronics
  • Small form factor and low weight
  • High accuracy/repeatability (2% / 0.2% of set point)
  • Wide control range (500:1), ultra-fast settling time (100ms)
  • RS485 and I²C digital interface
  • Exchangeable 6mm push-in and down mount connectors
  • NIST traceable calibration
  • No drift and no re-calibration required in the field
  • NIST traceable calibration

製品情報

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CMOSens SFM6000D シリーズ

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